1月9日,上海技物所新年首期學術沙龍成功舉行。本期沙龍圍繞國家自然科學基金委國家重大科研儀器研制項目(部門推薦)“面向紅外芯片的光譜與界面功能關系研究的多尺度表征系統(tǒng)”,重點針對探測器制備工藝中的關鍵技術展開深入研討。活動由所學術委員會副主任夏項團研究員主持,中國科學院院士匡定波,項目子系統(tǒng)負責人喬輝、徐國慶、王仍、儲開慧、蘭添翼等以及各部門職工、研究生代表參加。
喬輝研究員作了題為《可避免氧化的碲鎘汞探測器工藝》的報告。他系統(tǒng)介紹了基于四大子系統(tǒng)構建的全流程無氧工藝方案,該工藝可有效抑制氧化、提升器件性能一致性,并實現(xiàn)關鍵工序的自動化操作。報告分享了項目最新進展與實驗細節(jié),現(xiàn)場交流熱烈,討論氛圍活躍。
紅外器件室許金通研究員表示:“在無氧環(huán)境下直接沉積鈍化膜,有望顯著降低表面態(tài)和界面電荷,這對提升芯片良率具有重要意義?!奔t外科學與技術實驗室李天信研究員指出:“‘三無’工藝——無水、無氧、無人干預,為碲鎘汞材料處理提供了新思路,其實際效果有待通過實驗進一步驗證。”組件室李淘研究員從跨領域協(xié)作角度提出,可依托項目已建成的高分辨紅外顯微表征系統(tǒng),結合延伸波長外延片開展界面表征實驗,直觀解析材料界面行為與位錯效應。
匡定波院士在總結中講到,探測器制備工藝是提升紅外芯片性能的核心環(huán)節(jié),尤其在氧化控制與無氧工藝方面仍具有深入探索的空間。他鼓勵科研人員發(fā)揚鉆研精神,聚焦關鍵細節(jié)持續(xù)突破,并對項目后續(xù)進展寄予厚望。
上海技物所學術沙龍已成功舉辦668期。本期沙龍立足重大儀器研制任務,聚焦實驗技術難點與前沿挑戰(zhàn),通過務實深入的交流,為后續(xù)技術集成與項目推進提供了有益借鑒與創(chuàng)新活力。
供稿:楊天杭
編輯:虞慧嫻
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