中新網(wǎng)上海1月25日電 (鄭瑩瑩)微電子器件(簡稱:微器件)“潛伏”在人們?nèi)粘I钪校热缫徊科胀ㄊ謾C的CPU(中央處理器)里有多達(dá)百億個晶體管(微器件的一種)。據(jù)來自中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所的消息,該所的王建祿研究員等人,通過新型制備方法,能按需定制微器件,有望加速未來的新型半導(dǎo)體材料的應(yīng)用。相關(guān)成果于北京時間25日在線發(fā)表于國際期刊NatureElectronics(《自然·電子學(xué)》)。
王建祿研究員在上海接受媒體采訪時介紹,傳統(tǒng)的半導(dǎo)體微器件工藝過程十分繁瑣復(fù)雜,例如,要通過幾百道甚至上千道的工藝,才能獲得常用的計算機芯片,研究團隊探索的是:如何以簡單的工藝,按需定制微器件??梢赃@么描述他們的制備方法:用“納米畫筆”在“畫布”上畫出微器件。這里的“納米畫筆”指的是納米尺度的針尖?!爱嫴肌眲t是一種特殊的納米薄膜——鐵電薄膜。
“這層具有極性的鐵電薄膜就像一張納米厚度的神奇畫布,運用納米畫筆可以在畫布上任意作畫,畫作就是各類微器件,還可以反復(fù)擦寫畫布,這種方法給制備微器件提供了豐富的想象力?!蓖踅ǖ撊缡钦f。
同時他也指出,這種制備方法適用于幾乎所有的半導(dǎo)體薄膜材料,但由于傳統(tǒng)材料的制備工藝已相對成熟,新方法更適合用于未來新型低維半導(dǎo)體材料的應(yīng)用上。
據(jù)悉,這項研究由中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所與復(fù)旦大學(xué)、華東師范大學(xué)、南京大學(xué)、中國科學(xué)院微電子所等多個課題組合作完成。(完)
責(zé)任編輯:葉攀
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