近日,中科院上海技術(shù)物理研究所王建祿研究員,胡偉達(dá)研究員與中科院微電子所劉琦研究員等人合作,設(shè)計(jì)出一種極陡峭亞閾值擺幅的場效應(yīng)晶體管,并基于該結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了極高靈敏光電探測功能,綜合利用了鐵電負(fù)電容效應(yīng)、鐵電極化誘導(dǎo)局域場效應(yīng)及“photogating”效應(yīng),基于鐵電局域靜電場和鐵電負(fù)電容效應(yīng)的共同作用,實(shí)現(xiàn)極高探測率的室溫光電探測。
該光電晶體管的工作電壓設(shè)定為器件在暗態(tài)下的閾值電壓點(diǎn),此時(shí)柵介質(zhì)鐵電層極化方向向下,鐵電局域靜電場將MoS2半導(dǎo)體溝道電子耗盡,有效抑制器件暗電流,提高器件信噪比。研究發(fā)現(xiàn)在光照下器件轉(zhuǎn)移特性曲線閾值電壓點(diǎn)發(fā)生左移,如圖所示。該現(xiàn)象源于光照多層MoS2吸收光子激發(fā)電子-空穴對(duì),其中大量空穴被柵極鐵電局域靜電場捕獲,從而產(chǎn)生強(qiáng)的“photogating”效應(yīng)。通過綜合運(yùn)用鐵電負(fù)電容效應(yīng)實(shí)現(xiàn)的極陡峭轉(zhuǎn)移特性(極低亞閾值擺幅)、輔以鐵電極化局域強(qiáng)場對(duì)半導(dǎo)體溝道背景載流子的抑制效應(yīng)(極低暗電流),同時(shí)借助于鐵電局域靜電場的作用下捕獲大量空穴,產(chǎn)生“photogating”效應(yīng)(類似光照誘導(dǎo)轉(zhuǎn)移曲線平移),獲得了極高的信噪比(>107),從而實(shí)現(xiàn)具有高探測率光電探測器件。本研究中提出的負(fù)電容光電晶體管及其工作機(jī)理,是一種普適的高靈敏光電探測器構(gòu)建方法,可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體光電器件中,為研制超新型高靈敏光電探測器提供了新思路。
該成果以 “Ultrasensitive Negative Capacitance Phototransistors”為題在線發(fā)表于Nature Communications。本工作中,王建祿研究員、劉琦研究員和胡偉達(dá)研究員為文章共同通訊作者,博士研究生涂路奇、曹榮榮為文章的共同第一作者。
該項(xiàng)工作得到了國家自然科學(xué)基金委、科技部及中科院的經(jīng)費(fèi)支持。
論文鏈接:https://www.nature.com/articles/s41467-019-13769-z.

器件結(jié)構(gòu)示意圖
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